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薄膜衬底

SiC单晶具有许多优良的性质,热导率高、饱和电子迁移率高、抗电压击穿能力强等,适合于制备高频率、高功率、高温以及耐辐照的电子器件。

主要性能参数
生长方法 籽晶升华法 ,PVT(物理气相传输)
晶体结构 六方
晶格常数 a=3.08 Å     c=15.08 Å
密度 3.21 g/cm3
方向 生长轴或 偏<0001> 3.5 º
带隙 3.26 eV (间接)
硬度 9.2(mohs)
热传导@300K 5 W/ cm.k
介电常数 e(11)=e(22)=9.66 e(33)=10.33
尺寸 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Dia2",Di3",Dia4"
厚度 0.35mm,
抛光 单面或双面
晶向 <0001>±0.5º
晶面定向精度: ±0.5°
边缘定向精度: 2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra: ≤5Å(5µm×5µm)
包装 100级洁净袋,1000级超净室
0551-63468281
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