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薄膜衬底

钪酸铽(TbScO3)单晶与钙钛矿结构的超导体有很好的晶格匹配,是极佳的铁电薄膜衬底材料。


钪酸铽晶体
生长方法 提拉法
晶体结构 正交(a=12.355Å,b=5.7233A,c=709147A)
密度 7.13g/cm3
纯度 99.95%
热膨胀系数 9.4×10-6/℃
晶向 <111>±0.5
尺寸 5×5×0.5mm、10×5×0.5mm 10×10×0.5mm等
抛光 单面或双面抛光
表面粗糙度 ≤5Å
封装 100级超净袋、单片或多片晶元盒

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